MMI阵列波导光栅复用／解复用器的研制

• 作 者: 马慧莲 余金中 等
• 机 构: 浙江大学信电系光电子研究所,集成光电子学国家重点实验室
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2001年7期
• 关键词: 阵列波导光栅 复用/解复用器 多模干涉 有限差分光束传输法 arrayedwaveguide grating (AWG) MUX/DMUX multimode
• 基金项目: 国家自然科学基金 (696770 12 ),,国家重点基础研究发展规划 (G19990 3 3 10 4),,集成光电子学国家重点联合实验室资助项目

详细分析了基于自镜像效应的MMI DMUX器件的基本工作原理，在此基础上，在SOI材料上完成了对8信道MMI DMUX的具体设计，该器件的输入，输出单模波导采用Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计，最后获得了当输入，输出单模波导宽度为5um，SIE多模波导宽度和长度分别为72um和6313.4um时，该器件对8信道波长的隔离度均在35dB以上，且理论传输损耗＜0.18dB.