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采用分布式控制（DCS）的方法，用小型可编程逻辑控制器（PLC）替代中型PLC，提出了镀膜真空的13个子过程概念，实现了基于国产部件的真空过程自动化。以国产光控为核心，采用组态软件和控制软件结合的方法，通过经典和现代滤波技术，实现了光控自动判停，采用监控信号变化率dR／dr来控制薄膜的蒸发束率，制作了相应的分光膜和宽带增透膜，在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度。