论文部分内容阅读
作为全球半导体行业在化学机械研磨(CMP)技术方面的领导者和创新者,陶氏电子材料今日宣布推出KLEBOSOL1630研磨液,这是一种高级的可稀释的研磨液,它综合了硅溶胶研磨液和气相二氧化硅研磨液的优点。KLEBOSOL研磨液是为先进半导体制造技术而研发的,它为CMP提供了一种性能卓越、低耗材成本的产品。