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C—BN衬底上金刚石的异质外延生长研究
C—BN衬底上金刚石的异质外延生长研究
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:terrychang2009
【摘 要】
:
用热灯丝CVD方法在C-BN单晶衬底上制备出金刚石膜,并且在C-BN(100)面上观察到金刚石的异质外延。
【作 者】
:
金曾孙
吕宪义
【机 构】
:
吉林大学超硬材料国家重点实验室
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
衬底
金刚石
外延生长
薄膜
Hot filament CVD
C-BN substrate
Heteroepitaxial growth of diamon
【基金项目】
:
863计划资助项目
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用热灯丝CVD方法在C-BN单晶衬底上制备出金刚石膜,并且在C-BN(100)面上观察到金刚石的异质外延。
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