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光学薄膜需要量的急剧增加引起了真空设备制造商的注意。其结果是出现了一类新型自动化设备,使镀膜过程加速，并改善了最终产品的质量。
自动化：光学薄膜的革命
【摘 要】
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光学薄膜需要量的急剧增加引起了真空设备制造商的注意。其结果是出现了一类新型自动化设备,使镀膜过程加速，并改善了最终产品的质量。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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