【摘 要】
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1.通产省从1991年开始实施一项新的大型项目“微机械技术”的10年研究开发计划。该计划总投资为250亿日元。主要研究开发内容为:(1)极微细机械元件技术,(2)微小传感器、控制
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1.通产省从1991年开始实施一项新的大型项目“微机械技术”的10年研究开发计划。该计划总投资为250亿日元。主要研究开发内容为:(1)极微细机械元件技术,(2)微小传感器、控制电路等基本技术,(3)系统技术,(4)计测、评价技术,(5)上述(1)—(2)所需要的一系列支援技
1. MITI started implementing a 10-year research and development program of a new large-scale project “Micromachining Technology” from 1991. The plan a total investment of 250 billion yen. The main research and development contents are as follows: (1) Very fine mechanical components technology, (2) Basic technology of tiny sensor and control circuit, (3) System technology, (4) Measurement and evaluation technology, (2) A series of support skills needed
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