【摘 要】
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一、等离子电位等离子电位系指等离子辉光本身的电位,它不同于两绝缘电极上的电位。其大小主要由两电极面积之比决定。(1)若RF 耦合电极比相对的接地电极面积小,则等离子电
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一、等离子电位等离子电位系指等离子辉光本身的电位,它不同于两绝缘电极上的电位。其大小主要由两电极面积之比决定。(1)若RF 耦合电极比相对的接地电极面积小,则等离子电位值也小(约为10～50V),而且,相应的耦合电极显示负的直流自偏压。这时,置于接地电极上的衬底只受低能离子轰击,为等离子腐蚀;而置于RF 耦合电极上的衬底,可以遭受稍高能量的离子轰击,为反应离子腐蚀;(2)若RF耦合电极与相对的接地电极面积大小相当,甚
First, the plasma potential Plasma potential refers to the plasma glow itself potential, which is different from the potential of the two insulated electrodes. Its size is mainly determined by the ratio of the two electrode area. (1) If the RF coupling electrode is smaller in area than the opposing ground electrode, the plasma potential value is also small (about 10 to 50 V) and the corresponding coupling electrode shows a negative DC self bias. At this time, the substrate placed on the ground electrode is only bombarded by low-energy ions and is plasma etched; while the substrate placed on the RF-coupled electrode can be subjected to slightly high-energy ion bombardment for reactive ion etching; (2) if RF coupling electrode and the relative size of the ground electrode size quite, very
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