【摘 要】
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去年12月中旬在旧金山举行的国际电子器件会议(IEDM)上,专家们认为,随着硅性能提升的减慢,半导体工业需要集中研究新的沟道材料,并且努力降低寄生电容。应变硅在过去十年间填
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去年12月中旬在旧金山举行的国际电子器件会议(IEDM)上,专家们认为,随着硅性能提升的减慢,半导体工业需要集中研究新的沟道材料,并且努力降低寄生电容。应变硅在过去十年间填补了由于纯器件等比例缩减速度降低带来的空隙,但是由应变获得的增益可能达到了饱和,麻省理工学院
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