【摘 要】
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类金刚石薄膜因其优异的物理化学性能而具有广泛的应用,本文结合于锗在红外光学应用所具有不足,采用化学气相沉积方法,在锗基底表面制备类金刚石膜作为红外增透膜。对制备的
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类金刚石薄膜因其优异的物理化学性能而具有广泛的应用,本文结合于锗在红外光学应用所具有不足,采用化学气相沉积方法,在锗基底表面制备类金刚石膜作为红外增透膜。对制备的样品进行傅立叶红外光谱和红外透射光谱进行测试,测试结果表明,类金刚石膜是锗基底的理想的红外增透膜。
Diamond-like carbon films are widely used due to their excellent physical and chemical properties. In this paper, diamond-like carbon films are prepared on the surface of germanium substrates as infrared antireflection coatings by combining chemical vapor deposition with germanium in infrared optics applications. The prepared samples were tested by Fourier transform infrared spectroscopy and infrared transmission spectroscopy. The results show that diamond-like carbon films are ideal infrared AR coatings for germanium substrates.
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