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介绍了在普通Ｘ射线衍射仪上利用旋转样品台，通过精确调鳌，使晶面法线处于衍射平面，从而进行晶体机械加工损伤层的Ｘ射线衍射分析．衍射分析结果表明，研磨后的晶体表面是由破碎镶嵌层、裂纹及晶格畸变等损伤层组成．配合腐蚀实验，确定出不同工艺方法产生的损伤程度及损伤层深度，并证实通过控制机械化学抛光时间能够实现ＹＡＧ、ＧＧＧ晶体的无损伤加．