【摘 要】
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本文介绍了测量精度为±０．００３ｍｍ的ＣＣＤ尺寸自动检测系统的工作原理。详细地讨论了光学系统的设计和远心物镜的结构。并且进行了光学计算和像差校正。给出了像差曲线和实测结果。该仪器具
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本文介绍了测量精度为±０．００３ｍｍ的ＣＣＤ尺寸自动检测系统的工作原理。详细地讨论了光学系统的设计和远心物镜的结构。并且进行了光学计算和像差校正。给出了像差曲线和实测结果。该仪器具有自动检测精度高、快速和性能可靠等优点。已在工业生产中得到了很好地应用。
This article describes the working principle of a CCD size automatic inspection system with a measurement accuracy of ± 0.003mm. The design of the optical system and the structure of the telecentric lens are discussed in detail. And optical calculations and aberration correction were performed. The aberration curve and the measured results are given. The instrument has automatic detection of high precision, fast and reliable performance and so on. Has been well used in industrial production.
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