【摘 要】
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研制一种在光子嫩肤仪中用于产生标准谱段的滤光片。采用石英作为基底,选择TiO2和SiO2作为高低折射率材料,采用needle优化方法压缩通带波纹,通过真空镀膜和离子辅助的技术,研
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研制一种在光子嫩肤仪中用于产生标准谱段的滤光片。采用石英作为基底,选择TiO2和SiO2作为高低折射率材料,采用needle优化方法压缩通带波纹,通过真空镀膜和离子辅助的技术,研制出了200 nm～550 nm平均透过率低于0.3%5、70 nm～1 200 nm平均透过率高于95%的光子嫩肤用滤光片。在制备过程中,解决了TiO2的吸收问题和薄膜厚度控制的问题;通过多次实验,分析了波长漂移产生的原因并提出可行方法。
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