大直径单晶硅带锯切割新工艺

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一、概述在伟大、光荣、正确的中国共产党诞生五十周年的光辉日子里,大直径单晶硅带锯切割新工艺在我所试验成功了。这一新工艺的试验成功,是我所工人、革命干部和科技人员活学活用毛泽东思想的丰硕成果,是所革委会落实“鞍钢宪法”、“工业学大庆”等毛主席光辉指示的具体体现。我所从70年8月份开始对大直径单晶硅切割机进行研究。当时提出的任务要求是:如何能用一种新的切割工艺来克服通常内园切割机所存在的浪费硅片材料多、不宜切割大直径硅材料的缺点。在制定方案过程中,三结合小组成员发扬了敢想、敢干的革命精神,提出了 I. Overview In the glorious days of the fiftieth anniversary of the great, glorious and correct birth of the Chinese Communist Party, a new large-diameter single-crystal silicon band saw cutting process succeeded in my experiment. The successful trial of this new technology is a fruitful result of the active study and utilization of Mao Zedong Thought by our workers, revolutionary cadres and scientific and technological personnel and is the specific instruction of the Revolutionary Committee in implementing the brilliant instructions of Chairman Mao, such as the Constitution of Anshan Iron and Steel Co., Ltd. and Daqing Industrial University reflect. From August 70, I started to research large diameter single crystal silicon cutting machine. At that time, the task requirement was: how to use a new cutting process to overcome the shortcomings of the conventional internal cutting machine that is waste silicon material, cutting large diameter silicon material is not appropriate. In the process of formulating the plan, the three combined team members carried forward the revolutionary spirit of dare to think, dare to do and proposed
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