【摘 要】
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将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑薄膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Al多晶
【机 构】
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将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑薄膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Al多晶薄膜沉积过程中晶体的生长规律，分析了织构演变的主要微观物理因素.
The concept of texture configuration entropy was applied to simulate the texture evolution of the deposited polycrystalline thin films. Considering the variation of the surface energy anisotropy and the strain-energy anisotropy during the film deposition, the quantitative growth of the deposited films Model; the crystal growth rule of Al polycrystalline thin film was simulated, and the main microscopic physical factors of texture evolution were analyzed.
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