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对两种不同比表面积（BET）的铟锡氧化物（IT0）纳米粉末进行退火处理，研究和比较了温度对两种粉末微观组织和结构的影响，并对这两种粉末烧结的靶材进行了比较。结果表明，在800-1500℃进行不同温度的退火处理后，在1200℃以上，两种比表面积的ITO粉末粒径增长显著，颗粒之间出现了相互合并和结合长大现象，而高BET粉末的粒径增加幅度比低BET粉末的更大；在1525℃烧结后，用高BET粉末烧成的靶材的晶粒和气孔尺寸更大，气孔数量也更多。