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设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器，它工作于中、短波红外光及可见光等波段，微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm，扫描视场角约为6．6°，扫描频率可达200Hz，体积小到几个立方厘米．实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符．
微型光扫描器研究
【摘 要】
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设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器，它工作于中、短波红外光及可见光等波段，微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm，扫描视场角约为6．6°
【机 构】
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华中科技大学光电子科学与工程学院,武汉光电国家实验室,图像识别和人工智能教育部重点实验室
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2007年1期
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