洁净预真空的获得

• 作 者: 胡焕林
• 出 处: 合肥工业大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 1990年04期
• 关键词: 真空泵油 油蒸气 预真空 干式 残余气体 旋片真空泵 抽气量 真空系统 吸附泵 粗真空

真空系统中残余气体必须洁净。要求碳氢化合物蒸气组分极低,本文分析了产生油蒸气污染的原因并介绍了干式真空泵的应用与开发。

The residual gas in the vacuum system must be clean. Requires very low vapor composition of hydrocarbons, this paper analyzes the causes of oil vapor pollution and introduced the application of dry vacuum pump and development.