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氧化钒薄膜在非制冷红外成像器件中的应用已成为国际上研究的热点，各种晶体结构的氧化钒性能差异很大，为此综述了不同氧化钒晶体的结构和性能。由于制备方法及工艺条件对薄膜材料有较大影响，在此介绍了二氧化钒和五氧化二钒薄膜的几种主要制备方法及对生成膜性能的影响。
氧化钒薄膜的制备方法及结构性能
【摘 要】
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氧化钒薄膜在非制冷红外成像器件中的应用已成为国际上研究的热点，各种晶体结构的氧化钒性能差异很大，为此综述了不同氧化钒晶体的结构和性能。由于制备方法及工艺条件对薄膜材
【机 构】
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江苏石油化工学院功能材料实验室,中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点
【出 处】
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江苏石油化工学院学报
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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中科院上海冶金研究所离子束开放实验室资助
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