【摘 要】
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应用PCVD技术,以金属有机物钛酸丙酯(TPT)代替TiCl4作钛源,在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响.试验结果表明,采用适当的沉积温度、压
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应用PCVD技术,以金属有机物钛酸丙酯(TPT)代替TiCl4作钛源,在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响.试验结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,显著提高模具的表面硬度和使用寿命.该结果在实际应用中取得了良好的效益.
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