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根据钙钛矿结构的特点，提出了一种基于双格子系统的动力学蒙特卡罗KMC方法（kineticmontecarlo）。与传统的SOS（solid-on-solid）模型不同，该方法从单个原子事件出发，模拟沉积原子在表面的吸附、扩散和成键的动力学过程。应用该方法模拟了Ba-TiO3薄膜在（001）面的同质外延生长过程，分析沉积原子动能对BaTiO3薄膜生长过程中形核率、岛密度、三维形貌、缺陷率以及成键率的影响，为优化工艺参数、制备高性能铁电薄膜提供依据。