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Sm—Fe—Ti薄膜磁体的制备和分析
Sm—Fe—Ti薄膜磁体的制备和分析
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nn2268006
【摘 要】
:
对于在加热基片上直接晶化的溅射薄膜,就溅射参数作了系统的实验研究,如基片温度、溅射气体压、力、沉积速率及靶与基体间距等。在直接晶化的薄膜中,主相为2-17相,还有几种其
【作 者】
:
钱祥荣
【机 构】
:
上海钢铁研究所上海200940
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
薄膜
溅射
晶化
内禀矫顽力
film sputtering crystallized
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对于在加热基片上直接晶化的溅射薄膜,就溅射参数作了系统的实验研究,如基片温度、溅射气体压、力、沉积速率及靶与基体间距等。在直接晶化的薄膜中,主相为2-17相,还有几种其他的结晶相,视温度和成份而变。
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