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本文通过对影响ＭＯＳＦＥＴ器件热载流子可靠性的主要因素的讨论，提出了ＣＭＯＳ电路中热载流子可靠性设计的一般性策略，并从电路、结构和工艺等方面提出了几种典型的应用方法。
CMOS电路热载流子可靠性设计
【摘 要】
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本文通过对影响ＭＯＳＦＥＴ器件热载流子可靠性的主要因素的讨论，提出了ＣＭＯＳ电路中热载流子可靠性设计的一般性策略，并从电路、结构和工艺等方面提出了几种典型的应用方法。
【机 构】
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信息产业部电子第5研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2000年1期
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