【摘 要】
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随着集成电路图形线条的变细,对晶片本身的质量的要求也随之提高,人们更加重视研究晶片加工设备和加工工艺。要想得到高质量的晶片,除了应具备高质量的半导体材料外,必须选
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随着集成电路图形线条的变细,对晶片本身的质量的要求也随之提高,人们更加重视研究晶片加工设备和加工工艺。要想得到高质量的晶片,除了应具备高质量的半导体材料外,必须选用高质量的加工设
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