355nm紫外激光器加工多层柔性线路板盲孔

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采用输出功率10W的355nmNd:YVO4激光器对4层柔性线路板(FPC)进行了盲孔加工实验。重点研究和分析了不同加工方式、功率密度、扫描间距、开/关激光延时等参数对加工结果的影响。得到的优化工艺参数为:第一次采用加工功率3.9W、频率80kHz、扫描速度50mm/s、开/关激光延时20μs/110μs、扫描间距18μm,第二次将加工功率降到1.4W,其他参数不变,此时,加工盲孔的效果最为理想,重铸层粗糙度为0.88966μm,孔底粗糙度为1.063μm。给出了孔底表面的SEM图和针式台阶仪测量的盲孔底面三维轮廓和切面二维轮廓图。
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