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探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的建议和措施。
原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势
【摘 要】
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探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2020年9期
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2016YFB1102203),国家自然科学基金资助项目(61635008)
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