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采用射频辉光放电的方法在含CH的混合气体的常温条件下制备了含碳的薄膜,通过Raman、XRD和SEM分析,检验了薄膜的性质,表明此膜含有大量的碳的SP3键的金刚石成分,其晶粒为10～100 nm,属于纳米金刚石膜.此膜已在玻璃镜片、塑料和磁盘等商品的保护方面获得了广泛的应用.
常温下合成金刚石薄膜
【摘 要】
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采用射频辉光放电的方法在含CH的混合气体的常温条件下制备了含碳的薄膜,通过Raman、XRD和SEM分析,检验了薄膜的性质,表明此膜含有大量的碳的SP3键的金刚石成分,其晶粒为10～10
【机 构】
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深圳雷地科技实业公司
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2002年2期
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