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研究了真空紫外光催化（TiO2／VUV）对低浓度甲烷的去除效果及影响因素．结果表明，该法的去除速率随甲烷进口浓度、流量、相对湿度（RH）的增加而达到一个最大值．去除效果明显高于单独真空紫外（VUV）．尾气中臭氧不随甲烷进口浓度的变化而变化。但随RH和流量的增加而降低．添加H2O2和NOx不利于甲烷的降解，但显著地降低了臭氧的浓度．降解过程中甲醛的产率小于0．5％．并随RH增大而下降．