压阻式医用导管端微型压力传感器

• 作 者: 吴宪平 胡美凤
• 机 构: 复旦大学电子工程系,复旦大学电子工程系
• 出 处: 传感技术学报
• 发表日期: 1993年3期
• 关键词: 压力传感器 心导管 压阻式 pressure sensors piezoreesistive catheter miniature

本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线,分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm×2.5mm×0.16mm;量程为40kPa;灵敏度约为100μV/V·kPa;静态精度约0.3％FS;固有频率高达350kHz.其制造工艺适用于批量生产.