【摘 要】
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丁酮是半导体工业的重要原料之一。由于丁酮的用量较大,价格比较贵,所以目前不少使用单位开始进行丁酮的回收工作,并且得到很好的效果。 丁酮是光刻工艺中的显影剂。用过的
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丁酮是半导体工业的重要原料之一。由于丁酮的用量较大,价格比较贵,所以目前不少使用单位开始进行丁酮的回收工作,并且得到很好的效果。 丁酮是光刻工艺中的显影剂。用过的丁酮中,主要杂质是显影过程溶解的光刻胶及金属沾污。
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