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使用两轴振镜配合ftheta透镜进行激光扫描加工已经获得了广泛应用,但该方式的扫描幅面较小,无法满足大幅面加工的要求。前聚焦式振镜不需要使用ftheta透镜,能够在保持近衍射极限聚焦光斑下获得数倍于ftheta透镜的扫描范围。文章研究讨论了前聚焦式3轴振镜的调焦原理和在典型大幅面加工上的应用。
前聚焦式3轴振镜的调焦原理与应用
【摘 要】
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使用两轴振镜配合ftheta透镜进行激光扫描加工已经获得了广泛应用,但该方式的扫描幅面较小,无法满足大幅面加工的要求。前聚焦式振镜不需要使用ftheta透镜,能够在保持近衍射
【机 构】
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瑞镭激光技术深圳有限公司
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2017年13期
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