【摘 要】
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LZ-70型离子注入机是由温州自动化研究所和温州潜水泵厂研制和生产的。一、用途和特点LZ一70型离子注入机是半导体工业生产专用的低能硼离子注入的专用注入机,主要用于MOS型
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LZ-70型离子注入机是由温州自动化研究所和温州潜水泵厂研制和生产的。一、用途和特点LZ一70型离子注入机是半导体工业生产专用的低能硼离子注入的专用注入机,主要用于MOS型集成电路、微波三极管等器件的生产
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