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采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）工艺在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）薄膜。ＸＲＤ分析显示薄结晶状态良好，无焦绿石相存在。ＡＥＳ测量表明：薄膜成分沿膜厚均匀分布，膜中无碳存在，表面不富含铅。分析了薄膜的形成机理，安性地解释了晶粒的生长过程。
PZT薄膜的MOD制备及形成机理研究
【摘 要】
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采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）工艺在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）薄膜。ＸＲＤ分析显示薄结晶状态良好，无焦绿石相存在。ＡＥＳ测量表明：薄膜成分沿膜厚均匀分布，膜中无碳存在，表面不富含铅。分析了薄膜的形成
【机 构】
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西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
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硅酸盐学报
【发表日期】
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1998年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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