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用射频磁控溅射方法，在T8钢和玻璃衬底上制备了Nb和Nb-Zr薄膜。表面和截面形态分析以及显微硬度测试结果表明，Nb薄膜在T8钢表面以岛状方式生长，Zr薄膜在Nb表面继续沉积后，在T8钢衬底中造成了连续性的孔隙；Nb薄膜的显微硬度随溅射功率和沉积厚度的增加而下降；Nb-Zr多层叠加溅射薄膜在真空扩散退火后硬度有所升高。