微变形镜补偿激光器腔内热畸变的研究

• 作 者: 任温馨 陈海清 王磊
• 机 构: 华中科技大学光电子科学与工程学院
• 出 处: 光学与光电技术
• 发表日期: 2007年4期
• 关键词: 热畸变 热透镜效应 微变形镜 镜面变形 侧面抽运 thermal aberrations thermal lens effect MEMS-DMs def

大功率激光器中由增益介质热畸变产生热透镜效应，导致激光器的性能下降。采用基于MEMS技术加工的微变形反射镜作为激光器谐振腔的一部分，能实时补偿热透镜效应，提高激光器的输出功率。推导了热畸变与微变形镜镜面形变量、反射镜驱动单元上电压的关系并进行了实验。实验结果表明，在初始功率为287mw、383mw、482mw和800mw的情况下使用微变形镜进行补偿，可以将功率提高到437mw、710mw、894mw和993mw，在理论和实验上证明了使用微变形镜可以改善激光器腔内热畸变。