【摘 要】
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应用X射线衍射分析研究了极间距对PEMSIP法TiN涂层相互组成的影响,结果表明,随着极间距增加,涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展,变化趋势为:(aTi+Ti2N+TiN)→(Ti_2
【机 构】
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应用X射线衍射分析研究了极间距对PEMSIP法TiN涂层相互组成的影响,结果表明,随着极间距增加,涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展,变化趋势为:(aTi+Ti2N+TiN)→(Ti_2N+TiN)→TiN。极间距对TiN涂层硬度的影响是由其影响涂层相组成而引起的,其中,由Ti_2N和TiN两相组成的涂层硬度最高。
The influence of the pole spacing on the mutual composition of TiN coatings by PEMSIP was studied by X-ray diffraction. The results showed that the phase composition of the coatings developed toward the nitrogen-rich phase and its content increased with the increase of the pole spacing. The trend was: (aTi + Ti2N + TiN) → (Ti_2N + TiN) → TiN. The effect of pole spacing on the hardness of TiN coating is caused by its influence on the phase composition of the coating. Among them, the coating composed of Ti_2N and TiN phases has the highest hardness.
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