【摘 要】
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This paper presents a vacuum gripper (as an actuator of an intelligent micromanipulator) for micro objects (with a diameter of 100～300μm) assembly tasks.The gri
【机 构】
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DepartmentofControlScienceandEngineering
【基金项目】
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中国科学院资助项目，国家高技术研究发展计划(863计划)
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This paper presents a vacuum gripper (as an actuator of an intelligent micromanipulator) for micro objects (with a diameter of 100～300μm) assembly tasks.The gripper is composed of a vacuum unit and a control unit.The vacuum unit with a proportional valve
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