【摘 要】
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针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd∶YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd∶YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,常州西南交通大学轨道交通研究院
【基金项目】
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国家科技重大专项课题（2013ZX04006011-101）
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针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd∶YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd∶YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd∶YAG晶体加工工艺,并对规格为100 mm×30 mm×3 mm的板条Nd∶YAG晶体进行了加工实验.实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217 λ（1λ=632.
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