【摘 要】
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本文报道一种双肖特基势垒叉指电极型快速光探测器，其光敏面１５０×１５０μｍ２，指长１４０μｍ，指定１０μｍ，指间隔１０μｍ．实验结果表明：该探测器的光灵敏度为０．７０Ａ／Ｗ，暗电流为ｎＡ量级（ＵＤＣ＝１０Ｖ），其响应时间小于４０ｐＳ．
In this paper, a doubl
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本文报道一种双肖特基势垒叉指电极型快速光探测器，其光敏面１５０×１５０μｍ２，指长１４０μｍ，指定１０μｍ，指间隔１０μｍ．实验结果表明：该探测器的光灵敏度为０．７０Ａ／Ｗ，暗电流为ｎＡ量级（ＵＤＣ＝１０Ｖ），其响应时间小于４０ｐＳ．
In this paper, a double Schottky barrier fast-track photodetector with interdigitated finger electrode has a photosensitive surface of 150 × 150μm2, a length of 140μm and a specified distance of 10μm. Experimental results show that the detector has a light sensitivity of 0.70A / W and a dark current of nA (UDC = 10V) with a response time of less than 40pS.
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