【摘 要】
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前言硅压力传感器的机芯是利用硅材料的压阻特性制作的力敏器件。它具有灵敏度高、精度高、动态响应快、稳定性好、易于小型化、使用方便、可靠性好等特点,因而得到了广泛的
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前言硅压力传感器的机芯是利用硅材料的压阻特性制作的力敏器件。它具有灵敏度高、精度高、动态响应快、稳定性好、易于小型化、使用方便、可靠性好等特点,因而得到了广泛的应用。目前,由于科学技术的发展,对元件的稳定性及可靠性提出了更高的要求,还要求提高成品串和降低成本。因而,国内外都在进行大量的研究和试制工作。出现了很多新的制造技术。下面就几种硅压阻器件的制造方法加以介绍。
Preface Silicon pressure sensor movement is the use of silicon piezoresistive pressure-sensitive device features. It has a high sensitivity, high precision, fast dynamic response, good stability, easy to miniaturization, easy to use, good reliability and other characteristics, which has been widely used. At present, due to the development of science and technology, the stability and reliability of the components put forward higher requirements, but also requires to improve the finished product string and reduce costs. Therefore, both at home and abroad are a lot of research and trial work. There have been many new manufacturing technologies. The following describes several methods of manufacturing silicon piezoresistive devices.
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