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来源 :光机电信息 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性,因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大.然而,大多数准分子激光器产生的矩形光束必
【作 者】
:
黄芳
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
2005年9期
【关键词】
:
准分子激光器
光束整形
光学系统
应用
Lambda
高平均功率
平板显示器
脉冲能量
紫外波段
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