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【摘 要】
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研究了Au/NiCr/Ta多层金属膜的择优取向、残余应力以及它们之间的关系.结果表明,在实验范围内,残余应力随沉积温度变化不大,沉积态薄膜均表现为残余拉应力,经400℃Ar气中退火
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安空间无线电技术研究所
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2002年9期
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