SnO_2:Sb薄膜型材料的气敏性研究

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研究了用轴流式等离子体化学气相沉积制备的SnO_2:Sb掺杂薄膜的气敏效应.该薄膜对NO_2气体有较好的气敏性,在常温下响应时间快,在170℃恢复时间可小于15s.灵敏度达6左右.还测定了SnO_2:Sb薄膜对CO,H_2,酒精气体以及石油液化气的气敏效应,并对以上结果进行了分析. The gas sensing effect of SnO_2: Sb doped films prepared by axial-flow plasma chemical vapor deposition was studied.These films have good gas sensitivity to NO_2 gas and fast response time at room temperature.The recovery time at 170 ℃ Less than 15s and a sensitivity of about 6. The gas sensing effect of SnO_2: Sb film on CO, H_2, alcohol gas and liquefied petroleum gas was also measured, and the above results were analyzed.
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