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采用LABVIEW软件控制N2气体流量，辅助中频磁控溅射制备不同占空比的（Al，Ti）N周期性多层膜，分别利用x射线衍射仪、场发射扫描电镜、纳米硬度仪研究了（Al，Ti）N周期性多层膜的组织结构和力学性能，研究表明：不同占空比下的薄膜只存在面心立方结构，多层膜具有一定的择优取向，择优取向随着占空比的改变而变化，当占空比为50％时，薄膜中存在（111）和（220）两种取向；多层的结构可以提高薄膜的结合强度和力学性能，获得的多层膜硬度最高为33．58GPa，临界载荷在40N左右，磨损情况也得到了明显的提高，主