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电子与固体相互作用是现代表面分析技术如SEM、EPMA及SAM等的物理基础。入射电子能量为几个keV或更低时,描述中能电子弹性散射的Rutherford截面不适用,需应用更为严格的量子力学分波法(PWM)。分波法计算电子弹性散射截面有解非相对论Schrodinger方程的pendry截面以及解相对论Dirac方程的Mott截面,但关于Mott截面的计算方法鲜见报导,且计算分析Mott截面、pendry截面及Rutherford截面之间的差异对描述低能电子在固体中散射物理过程十分重要。本文给出一个计算Mot