论文部分内容阅读
不久以前,国外报导了一种制作短沟道硅MESFET(金属半导体场效应晶体管)的自对准工艺方法,用此方法制得的MESFET的栅长为0.2μm,源漏n~+区的间距为1.2μm.实现了除衬底的给电容外的主要寄生元件都很小的短沟道FET.这个制作方法采用电子束曝光法使栅长缩短到亚微米,其关键是利用
制作短沟道硅MESFET的自对准工艺
【摘 要】
：
不久以前,国外报导了一种制作短沟道硅MESFET(金属半导体场效应晶体管)的自对准工艺方法,用此方法制得的MESFET的栅长为0.2μm,源漏n~+区的间距为1.2μm.实现了除衬底的给电
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1987年3期
其他文献
介绍了九架棚大桥预应力体系张拉施工工艺和注浆施工工艺,指出了施工中应注意的安全事项,阐述了施工中对双向预应力体系的控制措施。
工作时，交换名片是最基本的见面礼仪，可上百张名片的管理，又是个令人头疼的事情。在办公室或家里，如果能找到一台扫描仪，那么可以考虑通过扫描仪配合OCR软件，将名片上的信息转换成
随着煤炭市场化运作程度的加深,开采水平的不断提高,我们现行的物资管理工作已难以适应发展的需要。如何合理地采购物资,储备物资,降低库存,减少资金占用,降低采购成本,成为
吸引眼球的终端再加上能够大把掘金的服务，成为“Phone时代”的标志。新鲜亮相的“乐phone”手机采用联想自主设计的用户界面，美观与实用相结合的设计十分清新，配备的外接QWERTY
简述了MARC格式与CNMARC690字段的含义，就CNMARC690字段对回溯建过刊数据库、过刊编目与图书编目的著录进行了研究，并对普通高校中小型图书馆著录CNMARC690字段中出现的几种情
我国产业结构调整的同时,大大增加了对能源消费的需求,刺激了目前全国煤、电、油等能源的紧张,而能源供给的严重不足,又成为我国产业结构调整的瓶颈,因此必须促进我国产业结
通过对BP保水剂、锯末、醋糟、膨润土以及4种材料不同配方的吸水、持水、释水性能测试，分析得出可以考虑将这4种材料按一定比例配合使用，以达到抗旱增产的目的。