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通过对双频激光干涉仪的原理、结构、双频产生机理进行分析，阐述激光干涉仪在光刻设备中的实际应用，探讨激光干涉仪技术。
光刻设备中工件台激光测长原理
【摘 要】
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通过对双频激光干涉仪的原理、结构、双频产生机理进行分析，阐述激光干涉仪在光刻设备中的实际应用，探讨激光干涉仪技术。
【机 构】
：
上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年10期
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