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从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用。结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化（0.02μm）的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题。
根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨
【摘 要】
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从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用。结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技
【机 构】
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广东省计量科学研究院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2008年4期
【基金项目】
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国家质量监督检验检疫总局科技项目（2005QK73）
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