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随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势.文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机.
声表面波直线型电机小型化的研究
【摘 要】
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随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势.文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2004年3期
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