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对双原子分子Ｏ２与Ｓｉ（１００）－２×１重构表面的相互作用过程进行了动力学研究。建立了相互作用系统的ＬＥＰＳ势能超曲面，并在此基础上采用准经典轨迹方法计算了不同特征吸附位上的分子运动轨迹，得到了与理想表面模型相比更为合理的表面吸附特性。
O2／Si（100）—2×1重构表面相互作用过程的动力学研究
【摘 要】
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对双原子分子Ｏ２与Ｓｉ（１００）－２×１重构表面的相互作用过程进行了动力学研究。建立了相互作用系统的ＬＥＰＳ势能超曲面，并在此基础上采用准经典轨迹方法计算了不同特征吸附位上的分子运动轨迹，得到
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年1期
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