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分析了同步辐射软Ｘ射线多层膜反射率计；介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计
【摘 要】
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分析了同步辐射软Ｘ射线多层膜反射率计；介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1994年3期
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